在真空技术中,把低于一个大气压的气体状况,统称为真空。与正常的大气相比,这是一种较稀薄的气体状况。
现在,我国将真空区域划分为:低真空、中真空、高真空和超高真空。各真空区域所对应的真空值分别为:
低 真 空:105 ~102 Pa (760~1 Torr)
中 真 空:102 ~10-1 Pa (1~10-3 Torr)
高 真 空:10-1~10-5 Pa (10-3~10-7 Torr)
超高真空: ≤10-5 Pa (≤10-7 Torr)
要到达真空状况有专用的“抽真空的技术装备"抽掉工件周围的空气。在适当冲入空气或氮气等来到达可控气氛,实现不同真空度的操控。
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